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等離子廢氣凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器
采用標準模塊設計等優點，是一種干法處理有機廢氣的凈化設備。它改變了使用活性炭材料的工藝技術，無需再生處理原料，無需專人負責，無產生二次污染，更換及維護保養方便。
等離子廢氣凈化器主要適用于：工業噴涂廢氣、印刷廢氣、化工廢氣、制革業廢氣、塑膠造粒廢氣、垃圾中轉站廢氣、污水處理廠廢氣等各類工業有機廢氣的凈化處理。
等離子廢氣凈化器工作原理：
采用高壓發生器形成低溫等離子體，等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。
放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態。等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。在平均能量約5eV的大量電子作用下，通過凈化器的苯、甲苯、H2S、CS2、SO2等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、S、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。
低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術是在原電暈放電基礎上由高頻高壓電場通過 放電產生的新一代低溫等離子體技術具有能量高、電子發射密度高等特點，其凈化原理如下：
1、在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。
2、等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO、O等活性自由基和氧化性極強的O，能與有害氣體分子發生化學反應生成無害產物。
3、物理作用表現在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。
4、生物作用表現在具有消毒殺菌之功效。機理為：等等離子體中的正負粒子使微生物表面產生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。
5、在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、活性氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
低溫等離子工藝特點
1 高效的處理效果：低溫等離子廢氣處理設備效率可以去除到90%
2 運行費用低：工業等離子廢氣凈化設備采用專利的蜂窩電場、臥式結構，阻力小。減少了風機的阻力，降低了運行費用；設備本身采用先進的高壓控制系統和高壓電源，轉換效率高，耗電低。
3 維護方便：需要定時清洗的部件為可拆卸的模塊化組合，這樣既方便設備日常的清洗維護，也有利于這些部件的維修替換。
4 可升級性：設備都采用標準法蘭連接的組合式結構，使設備具有可升級性。模塊化凈化單元可以靈活組合，根據不同的凈化處理量 及凈化率要求，單元數量可作適應性調整。
5 占地面積小：設備的電源和設備在一起，無需另建電源控制室，節省廠房面積。
6 運行的持續性：采用分組供電的方式；即使某一組電場放電或故障，其他組還可以正常工作，不影響設備的運行，保證設備運行的持續性。
7 設計周密：高電壓電源精心設計成環氧樹脂嚴密封閉的單元體，采用分組供電、分組控制，使用安全可靠。
8 安全性：設備配有防火網、防火閥、溫度檢測系統、消防滅火系統，確保設備安全穩定運行。
9 氣流方向：臥式結構，用戶安裝的時候，風管、凈化設備和抽風機可以方便地橫向排列起來，方便布局，減少風阻；同時便于凈化器均風，從而提高除氣效率。
10 陰陽極距采用窄間距結構：單位體積里容納了較大的陽極面積，體積小，除氣效果好
11 設備的安裝：設備較輕，無需特別的基礎。主體設備在工廠安裝調試好。安裝成本低、時間短，容易達到設計效果
12 高壓和低壓控制:帶芯片控制的高壓控制電路、帶PLC的智能低壓控制。可實現安全、可靠和智能化運行。
